光学镜片搞定，剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。
双工作台主要还是精度上的问题，他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定，不过随着编码器的更新，双工作台也迟早能够实现突破。
至于光源的问题，因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔EUV光刻机的成熟方案，所以对他来说这就更不是问题了，他所需要做的就是，对这个方案进行一下优化，避免在专利上产生冲突，这也是为什么他之前都没有直接照搬脑海中的那些资料，都是因为专利问题，他能通过申请专利避免国外侵犯权益，国外的专利，他们自然也得遵守。
所以经过他的优化后，就能通过规避掉对方的专利保护技术特征，实现绕过专利的作用，甚至从性能上还会比对方的技术更好一些。
“这样一来，似乎距离开始组装光刻机也要不了多久了？”
